光电半导体车间*真空清扫系统

上海咏垣环保科技有限公司高负压*吸尘系统主要有框体式钣金结构单元、风机结构单元、脉冲反吹结构单元、过滤结构单元、粉尘收集结构单元等构成。

     我司高负压吸尘设备主体采用圆筒式外形结构，钣金主框体板材采用4mm厚钢板制作而成, 具有良好的耐蚀性、耐热性（主承重部分采用4~5mm304不锈钢），以保证机器的结构强度。钣金采用激光开料，加工工艺精准，以保证机器尺寸的精确；表面采用烤漆处理，使工件表面光亮无刮痕，提高表面处理质量，以保证机器的美观耐用性。

    电控柜主要元件选用世界**品牌ABB或西门子电控件，具有缺相保护、过流过压保护等功能。西门子变频器的使用，一方面可以使风机变频启动，减轻大功率负载启动时的浪涌现象，保护供电系统；另一方面，当变频器与 PLC、触摸屏及安装在管道中的压力传感器配合使用组合成恒压变频模块时，可实现自动变频恒压工作，保证吸尘要求的同时将功耗降至较低。

高负压*吸尘系统脉冲反吹原理

    脉冲反吹系统的组成由气缸、电磁脉冲阀、PLC、压缩空气组成。

    脉冲阀的一端连接压缩空气储气缸，另一端连接电磁脉冲阀。排气阀由PLC控制。当脉冲反吹控制仪无信号发出时，排气阀的活动挡板处于封闭排气孔的位置；当程序控制仪发出信号时，活动挡板打开，储气缸的压缩空气迅速泄压，于是排气阀内部的波纹膜被压向相反方向，喷气口打开，压缩空气经脉冲阀进入滤筒进行喷吹清灰。当信号消失后活动挡板恢复至原来封闭排气阀的位置，波纹膜重新封闭喷气口，喷吹自动停止，其反吹示意如图6.1所示。

每次喷吹清灰在0.01～0.02S左右完成，就是这一瞬间喷出的高压空气起到良好的清灰效果，使附在过滤筒的粉尘被抖落，滤料表面吸附的微尘在气流作用下被抖落至集尘斗中。脉冲喷吹气压为0.4～0.6Mpa，且运行中须保持恒定不变的供气量。